マスフロー用表示器

SP-833A

特長

  • SP-832に積算機能を搭載したタイプ
  • ポテンションによる流量設定
  • バルブ開閉信号出力
  • 瞬時・積算流量表示 (切換式)
  • 警報出力
  • 電源は±15V 250mA, +15V 150mA, -15V 350mAに対応
  • CE対応

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  • 取扱説明書

    SP-833A
  • カタログ

    SP-833A

オプション一覧

端子接続図

パネルカット図

仕様一覧

▽標準
計測仕様
計測種類 MFC流量値(瞬時)/MFC積算値(積算)
計測方式 A/D変換方式
分解能:約1/7000(フルスケール入力に対して)
入力計測間隔:約20ms
ローカット 最大アナログ入力の0~29%(任意設定可)
表示部
表示器 赤色LED5桁表示 文字高:8mm  (ゼロブランキング方式)
表示切換 MFC流量値/MFC積算値の表示を ▲ キーで切換え
(”モードNo.4” で設定が必要)   ※DISPスイッチがOUT時
RAランプ MFC流量値を表示中“RA”ランプ(赤色)が点灯
TOランプ MFC積算値を表示中“TO”ランプ(赤色)が点灯
OVランプ 表示計測値がオーバー時“OV”ランプ(赤色)が点灯
(右シフト表示中は点滅します)
OUT1ランプ 警報出力OUT1が出力中に点灯
OUT2ランプ 警報出力OUT2が出力中に点灯
MFC流量値表示
計測精度 アナログ入力に対して±0.3%(F.S.)±1digit(23℃)
スケーリング方式 アナログ入力最大時のMFC流量値表示を任意に設定可
(0.001~9999)
表示範囲 0~9999(表示オーバー時は「9999」点滅、OVランプ点灯)
小数点表示 最大表示値(モードNo.1)にて設定。
表示サンプリング時間 表示を約0.5秒で平均化(固定)
最下位桁補正 “通常”・“0固定”・“0または5表示” より選択可
MFC積算値表示
計測精度 アナログ入力に対して±0.3%(F.S.)±1digit(23℃)
スケーリング方式 モード設定によりアナログ入力最大値における、1時間あたりの
MFC積算値を任意に設定
表示範囲 0~99999
小数点表示 小数点以下を1~4桁の範囲で選択可
オーバー表示 99999表示以上になると自動で表示値が1桁右へシフト表示
(以降右シフト表示)します。右シフト表示中、OVランプ点滅。
X10倍表示をオーバーすると、OVランプが点灯しエンドレス表示
表示オフセット 表示オフセット値設定によりリセット後のMFC積算値を
0~99999の範囲で任意に設定可
入力信号
MFC流量信号(MFCからの出力信号) DC 0-5V  D-sub 入力抵抗 330KΩ
外部設定信号 DC 0-5V  端子台   入力抵抗 330KΩ
VOR IN 外部からVOR操作可
端子台5番(+15V)-7番(VORIN)間ショートでOPEN
端子台6番(-15V)-7番(VORIN)間ショートでCLOSE
操作部
メカダイアル
(CMDSET)
10回転のメカダイアル 目盛りの最小値1/50 1回転
ロックレバー付き(回転・目盛りを固定)
(ダイアルの目盛りは回転量の目安です)
コマンド設定ポテンション
(CMDSET)
MFCを任意の流量値に設定
VORスイッチ ノブを引っ張りながら切換える3ポジション
CONT :(通常時)
OPEN :VOR出力へ+15Vを出力
CLOSE:VOR出力へ-15Vを出力
コマンド切換スイッチ
(COMMAND)
EXT:外部設定値信号が流量設定値表示となります。
INT:CMDSETメカダイヤル(CMD)の設定が流量設定値
表示となります。
表示切替スイッチ SET:流量設定値(COMMANDに対する)の値を表示
(DISP) OUT:MFC流量値、MFC積算値を表示
操作設定スイッチ MODE、▶ 、▲ 、RSTの各キースイッチ
出力関係
M.F.C 電源定格 DC±15V 各250mA
またはDC+15V 150mA、DC-15V 350mAにも対応
リップルノイズ:30mV以下
コマンドアウト DC0-5V 5mA D-sub
外部信号出力 DC0-5V 端子台
バルブ開閉出力 VOR OPEN  DC+15V
VOR CLOSE DC-15V
警報・同期出力
出力端子 端子台11-12(OUT1)、13-12(OUT2)より出力
                        (COM共通)
比較方式 上限・下限 より選択可
出力モード 比較・同期パルス(OUT1:モードにて選択可)
プリセット値設定 プリセット値設定モードにより任意に設定可
出力判定 表示値とプリセット値との比較により、判定出力
出力方式 NPNオープンコレクタ出力 2点
最大定格:DC30V 50mA MAX
その他
データバックアップ 各モード設定値および積算計測値をFRAMに書き込み
(書き換え回数10万回以内、約10年間保持)
モードプロテクト機能 モードプロテクト設定による切換え選択
「ON」で設定値が変更不可、「OFF」で設定値が変更可
ウォームアップタイム 電源投入後30分以上
電源 AC100-240V (-15% / +10%) 270mA max
50/60Hz 約35VA以下
使用温湿度範囲 0~50℃ 30~80%RH(但し結露しないこと)
質量・外形寸法 約400g  W96×H48×D156mm
本体色 黒色
ケース材質 ABS
仕様環境 屋内使用 最大高度2,000m 過電圧カテゴリⅡ 汚染度 2
低電圧指令 EN 61010-1
EMC EN61326-1
EN55011(Group1 ClassA)、EN61000-4-2、EN61000-4-3、
EN61000-4-4、EN61000-4-5、EN61000-4-6、EN61000-4-11

CMPS

ISO取得

堺技衆

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